SDC、EMI、Touch Panel、Solar Cell協助量產導入
1. 深圳、北京-連續濺鍍SDC製程導入。
2. 昆山-連續濺鍍EMI製程導入。
3. 台灣-協助連續濺鍍Touch panel (ITO and Metal)製程導入。
4. ITO透明導電薄膜製程。
5. a-Si薄膜連續式濺鍍AZO/Al背電極製程。
6. 高導電性高穿透率AZO薄膜。
7. 導入CIGS(Mo、CIGS、i-ZnO、AZO) 連續式濺鍍製程。
8. 高溫連續式加熱系統 (最高溫度500℃)。
9. 多用途PECVD實驗機型
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製程經驗