PECVD電漿輔助化學氣相沉積

1. 基板尺寸: 12”
2. 單腔體:約 500x500x400mm
3. 加熱系統 :搭配PID溫控器,Stage最高溫可控制在 300℃
4. 電源: RF電源
5. 可調整承載台工作距離
6. 膜厚均勻性<3% (U%=(Max-min)/(2avg.))

瀏覽次數 : 8215

地址:台南市安定區港口里332-32號電話:+886-6-593-1695 傳真:+886-6-593-1625

建議使用 Internet Explorer 7 以上、以最佳螢幕解析度 1280 x 768 觀看